世界初の窒化物半導体に特化したプロセスラインを擁する実験施設が名古屋市千種区の名古屋大学東山キャンパスに設置された。文部科学省の省エネルギー社会実現に資する次世代半導体研究開発の一環として、名大未来材料・システム研究所(IMaSS)のエネルギー変換エレクトロニクス実験施設(C-TEFs)が完成した。省エネルギー社会実現に向けた窒化ガリウム(GaN)研究開発の新拠点だ。GaNの結晶成長装置、デバイス作製装置、評価・分析装置を結集し、結晶成長からデバイス作製までの研究開発を一気通貫で行うことで、研究を飛躍的に加速させるとともに、産官学の連携により大学の基礎研究の実用化につなげる。
© 2024 THE SCIENCE NEWS